Tray／Panel 搬運系統

投板機

為一整落 Tray 盤（內含基板），投板機可以 Tray 內基板取出輸送至下游機台。

收板機

為一整落空 Tray 盤，收板機可以上游基板放入 Tray 內，最後出料為整落 Tray 盤（內含基板）。

三工位／四工位

可依場地地因素做選擇，三工位機台為長方形，四工位機台較為方正。